半導體
12吋晶圓表面上的刮痕與髒汙檢測
Pixel Shift相機：輕鬆拍出超級細微瑕疵
由於感光元件的像素與像素之間存在著間隙，當我們想進行非常細微的瑕疵檢測時就容易遇到一個問題：瑕疵的訊號同時被兩個或多個像素感光而弱化。如果使用有Pixel Shift（像素位移）功能的相機，就可以讓感光元件每移動1/2 個像素或1/3 個像素，就會拍攝一張照片，所以上圖的瑕疵訊號如果原本落在兩個像素之間，在感光元件移動後就能夠被整個像素完整感測到。而多次拍攝的影像會在電腦端進行影像處理，變成一張解析度提高的影像。如上圖，在開啟功能後由於解析度提升1倍，因此可以看到晶圓上的細節變得更清晰可辨。
使用Pixel Shift技術的相機
■ 面陣相機：Vieworks VNP-604M面陣相機
■ 線掃相機：Teledyne DALSA Linea HS 32K TDI相機
Pixel Shift技術的詳細說明
