檢測12吋晶圓需要花多久？

檢測12吋晶圓時，如果以白光干涉或是雷射共軛焦進行，可能需要數十分鐘，甚至以小時為單位的時間才能完成；如果以LMI Gocator 5500系列中的G5512進行檢測，因其Z軸重複精度高達0.2µm，X軸的視野也能達到11.6mm的大範圍，再加上掃描速度最快可達到16.5kHz，僅需往復掃描27趟，90秒內便能完成檢測。

線共焦3D掃描可結合精度與速度

彩色線共焦的基本原理，是經過光學鏡組將白光光源分解成連續的波長，並照射在垂直的焦平面上，肉眼看起來就像七彩的彩虹(為容易理解下圖由低至高僅以紅綠藍表示)。

當焦平面上照射的物體高度改變時，根據高度不同會反射不同波長到Sensor上，而Sensor前的狹縫可以過濾掉未對焦時的反射光，因此只有在對焦時，反射光才會進入Sensor，從而獲得清晰的成像。

以下影片可以提供更清晰的概念：