0死角,高精度in-line檢測適用

Gocator 4021同軸光智慧3D掃描器

  • 根據反射波長譜的差異(取決於高度)精確測量高度
  • 最高掃描速度速度16kHz
  • Profile解析度 : 1920 point
  • 透明表面、光澤表面、透明多層皆可拍攝
  • 正上方拍攝的同軸光學設計,最大傾斜角度可達±85度

高解析度+高速掃描
Gocator 4000系列具有高X和Z解析度,可測量微小特徵並獲得精細的3D數據和2D強度影像。
結合高達16kHz的高速掃描速率(使用GoMax NX或開啟PC加速時),可用在生產線上進行In-line檢測

無死角同軸光學設計,傾斜面也能清晰拍攝
同軸光學設計從正上方掃描,即使深槽和突起等高度不平坦的形狀上也能取得精細3D數據。
Gocator 4000系列最大可測量角度為±85度的表面

適用各種材質及表面
不論是透明物體還是光滑的鏡面皆可拍攝,如測量透明黏合劑的塗佈量、晶圓光澤表面上的切割凹槽以及BGA上的錫球凸塊等等。
可量測各種材料的三維形貌和表面狀態

內建GoPxL量測軟體,無須額外開發或購買
基於網頁瀏覽器的介面,只需使用滑鼠即可輕鬆設定和操作。可以使用附帶的測量工具進行尺寸測量和影像處理,並且它還支援I/O連接和PLC輸入/輸出的各種現場匯流排。

同軸光測量原理
在Gocator 4000系列所使用的同軸共焦光學系統中,當白光通過彩色透鏡時,它會沿著Z軸分光成連續的單色光。當待測物的表面在此光譜範圍內時,單一波長的光線會從表面反射並進入感測器。且感測器的正前方設有濾光針孔(Pin Hole),只有在焦點高度反射的光才能通過濾光針孔並被光譜儀偵測到。
透過分析偵測到的光的波長,即可確定物體表面的準確位置。 

規格表

Model Gocator 4010 Gocator 4011 Gocator 4020 Gocator 4021
Data Points/Profile 1920 1920 1920 1920
Scan Rate (kHz) 4.3-14 4.3-14 4.5-16 4.5-16
X Resolution (μm) 1.9 1.9 2.6 2.6
Z Resolution (μm) 0.25 0.20 0.5 0.4
Repeatability Z (μm) 0.12 0.10 0.25 0.20
Measurement Range (mm) 1.05 1.05 2.5 2.5
Field of View (mm) 3.5 3.5 5.0 5.0
Calibration distance (mm) 9.3±0.2 9.3±0.2 27.8±0.3 27.8±0.3

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檔案下載

Gocator 4000系列能夠以亞微米精度對透明物體和光澤鏡面進行成像,適用於半導體產業和其他產業精密產品的形狀測量和外觀檢查

BGA錫球高度檢測


BGA錫球高度檢測,錫球的頂點及側面斜坡都能清晰捕捉 

晶圓晶片裂紋檢測


能準確量測光亮的晶圓表面,切割凹槽的形狀、寬度跟深度一覽無遺

IC晶片Wire Bonding檢查

垂直、水平走向的超細導線皆可輕易取得高精度掃描影像。能拍攝傾斜表面,故可精確捕捉深度走向的導線重疊和彎曲

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