市面上的3D Sensor大致可分為線雷射、白光干涉或是雷射共軛焦，雖然線雷射速度快能應用在In-line檢測上，但是經常碰到Z軸精度不足的狀況；而白光干涉或雷射共軛焦，卻因為量測速度太慢而無法應用在In-line檢測上。

而線共焦3D掃描法結合了三角量測法與共軛焦技術，能輕鬆解決上述問題，是高精度In-line檢測必備解決方案。以下將以使用這個技術的LMI Technologies開發的Gocator 5500系列線共焦3D掃描器進行進一步解說。

■ 經過光學鏡組將白光光源分解成連續的波長，並照射在垂直的焦平面上，肉眼看起來就像七彩的彩虹(為容易理解下圖由低至高僅以紅綠藍表示)。

■ 當焦平面上照射的物體高度改變時，根據高度不同會反射不同波長到Sensor上，而Sensor前的狹縫可以過濾掉未對焦時的反射光，因此只有在對焦時，反射光才會進入Sensor，從而獲得清晰的成像。

具體也可以參考以下影片，會有更清晰的概念：

當檢測12吋晶圓時，如果以白光干涉或是雷射共軛焦進行，可能需要數十分鐘，甚至以小時為單位的時間才能完成；如果以LMI Gocator 5500系列中的G5512進行檢測，因其Z軸重複精度高達0.2µm，X軸的視野也能達到11.6mm的大範圍，再加上掃描速度最快可達到16.5kHz，僅需往復掃描27趟，90秒內便能完成檢測。

如果您還在煩惱高精度In-line檢測的解決方案，歡迎申請至霖思科技的專業實驗室，使用LMI Gocator 5500線共焦3D掃描器免費試拍，幫助您實現更快、更精準的In-line檢測。