在世界初のPixel Shift線掃描TDI相機中，曾經介紹過Teledyne DALSA的「超解析度」功能所帶來的六大好處：

1. 可以沿用現有16k/5μm相機使用的鏡頭、光源、encoder、機構設計等等…。
2. 較深的景深。
3. 同樣的FOV可獲得2倍的解析度。
4. 同樣的解析度可獲得2倍的FOV。
5. 可檢測更小的瑕疵。
6. 相較於高解析度而採用較小pixel size（像素大小）的感光元件，16k/5μm2感光元件具有更好的響應度（responsivity）、電位井（full well）、信噪比（signal-to-noise ratio，SNR）和解析力（modulation transfer function，MTF）。 

超級解析度基本原理

上圖是DALSA的Linea HS 32k線掃描相機的感光元件架構示意圖。它是由Line A與Line B兩組16k/5μm的TDI感光元件組成，並錯開半個像素的距離。

這兩組16k/5μm的TDI感光元件取得的影像資料會傳輸到影像擷取卡，合成一張32k/2.5μm的影像資料。

此功能經常應用在半導體上，可以在10μm/pixel的精度下拍下一整片的12吋晶圓，無須煩惱拼圖問題。

如果您有拍攝12吋晶圓的需求，或者一直以16K相機拼接的方式取得拍攝影像，歡迎隨時預約免費借測或諮詢，讓我們的光學團隊為您評估超解析度相機的適用度。