應用案例
掃一次就有多張影像 ‧ Multi-Field幫你一次解決多種瑕疵
May 24th, 2022
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當我們的待測物結構複雜或是瑕疵類型繁多,經常會需要使用多種色光或是多種打光角度來拍攝待測物。在面型相機系統,我們通常使用閃頻光源一次掃描即可達成;但如果換到線掃描系統,因為只能透過多次掃描取得影像,往往會耗費許多時間。

因應多次拍攝的問題,Teledyne DALSA在相機搭載多視場影像技術(Multi-field,或稱Multi-Modality Imaging技術),讓使用者們可以輕易地在線掃描系統上實現一次掃描取得多色光或多打光角度的影像。根據選擇的相機系列,DALSA的Multi-field也提供閃頻光與單色光(非閃頻光)兩種方式供使用者選擇: 

1. 多組閃頻光源

可對應多組閃頻光源,一次掃描即可取得多種不同效果的影像。

圖片來源 : Teledyne DALSA

2. 多組色光

DALSA Linea HS可搭配R/G/B單色光,一次掃描取得三種不同效果的影像。

DALSA Linea ML RGB+NIR,可在單次掃描中同時得到彩色影像與NIR影像。 




圖片來源 : Teledyne DALSA


Multi-field能帶來什麼幫助?

1. 提高機台檢出率、縮短取像時間
一次掃描就檢出更多瑕疵,例如我們可以在單次掃描中得到 Bright Field- Red, Bright Field- Green與Bright Field- Blue的影像,且這三張單色光影像還可以處理回彩色影像,等於僅用一次掃描,即可得到四張影像。 



使用Multi-field技術拍攝晶圓


2. 瑕疵分類更精準

早期的AOI只求檢出瑕疵,現在的AOI不只要檢出瑕疵,還要將檢出的瑕疵分類。但只根據單一影像,其實很難準確的分類瑕疵,甚至是無法分類。這時我們可以搭配不同角度的光源,明視野/暗視野/背光,來強化分類的準確性。

比如說,製程瑕疵與外來汙染的瑕疵在不同角度光源會呈現不一樣的效果,因此我們可透過比對不同角度光源的影像,來區分瑕疵的類別。 



是製程瑕疵?還是Particle?同時比對明視野及暗視野影像,即可有效判別

以往只能透過面型相機系統才能實現的Multi-field技術,現在在線掃描系統上也可以輕鬆實現!即使搭配的是難搞的閃頻光,由於光源是與相機串接由相機來主動控制,使用者可以輕易的同步光源閃頻與相機取像,不再有傳統閃頻系統惱人的同步問題。

實際案例:
霖思科技有一位客戶,他們終端客戶工廠的產線只能單向移動,無法前後移動,而產品瑕疵又一定要明視野與背光的影像。客戶本來規劃架設兩站來解決這個問題,在測試Multi-field技術後,順利將兩站整合成一站,不僅降低成本、也在終端客戶的技術評分項目取得了高分,最後順利拿下案子。 

希望以上的技術解析與導入的成功經驗能夠對您有幫助。如果您希望進一步瞭解應用multi-field技術的產品,或者評估是否適用您的待測物,歡迎隨時聯繫霖思科技的工程團隊申請測試。